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氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

簡要描述:氣體質(zhì)量流量控制器CL-500D流量可覆蓋 2sccm-50slm 非腐蝕性氣體(相對于 N2) ?性價比高 .兼容 RS485 和模擬通訊 ?自動復(fù)零功能設(shè)置,增加工藝穩(wěn)定性

產(chǎn)品型號: CL-500D

所屬分類:雷宇測控質(zhì)量流量控制器

更新時間:2022-04-11

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

詳情介紹
品牌其他品牌產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,能源

氣體質(zhì)量流量控制器CL-500D

規(guī)格


Full Scale Range (N2 Eqv)

單氣體2-5000sccm |單氣體5-50slm

Control Valve Type 閥門類型

常開式或常閉式螺線管NC or NO)

Fitting 接頭

1/4"VCR or 1/4"Swagelok 兼容

Seals密封

橡膠Viton

Response Time響應(yīng)時間

wlSec(超過滿量程10%)

Accuracy精確性

25%-100%:w ±1%SP (滿量程25% 100%) 2%-25%: w ±0.25%F.S (滿量程2% 25%)

Linearity線性度

w滿量程的土 0.5%

Repeatability 重復(fù)性

w滿量程的±0.2%

Differential Pressure 壓差

7- 40psi

Leak Integrity 漏率

Max:1x10-7Pa.m3/sec (He)

Control Range控制范圍

滿量程的2-100%

Max Operating Pressure最高操作壓力

70psi

Proof Pressure 承受壓力

最大值140psi

Communication Type 通訊模式

模擬 0-5V/RS485

Input Power輸入功率

+15VDC ±2% at 100mA

-15VDC ±2% at 200mA

Command Signal輸入模擬信號

模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗1M Q /數(shù)字信號0-100%

Output Signal輸岀模擬信號

模擬信號0-5 VDC(輸入阻抗2M Q/數(shù)字信號0-100%

Power Consumption功耗

4.5W

Temperature Range 溫度范圍

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS,316SS, PTFE

Weight重量

0.9KG

Surface Finishing 表面處理

5RA


氣體質(zhì)量流量控制器CL-500D



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